Найменування документа (укр.)
ДСТУ EN 62047-16:2022 Напівпровідникові прилади. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 16. Методи випробування для визначення залишкових напруг плівок MEMS. Кривизна пластини та методи відхилення балки консолі (EN 62047-16:2015, IDT; IEC 62047-16:2015, IDT)
Дата початку дії
31.12.2023
Дата прийняття
28.12.2022
Статус
Діючий
Затверджуючий документ
Наказ від 28.12.2022 № 285 Про пакетне прийняття європейських нормативних документів CEN/CENELEC
Вид документа
ДСТУ (Державний Стандарт України)
Шифр документа
62047-16:2022
Розробник
ДП «Український науково-дослідний і навчальний центр проблем стандартизації, сертифікації та якості» (ДП «УкрНДНЦ»)
ЗАВАНТАЖИТИ БЕЗКОШТОВНО