ДСТУ EN ISO 25178-604:2022 Геометричні специфікації виробу (GPS). Текстура поверхні: Areal. Частина 604. Номінальні характеристики безконтактних (когерентна сканувальна інтерферометрія) інструментів (EN ISO 25178-604:2013, IDT; ISO 25178-604:2013, IDT)